实践日志2

7.2  金华紫芯片科技有限公司

学习了解一种Ga₂O₃薄膜基日盲紫外探测器、制备方法及应用

这是一种属于高压输变电设备的安全检测领域,具体涉及一种Ga2O3薄膜基日盲紫外探测器、制备方法及应用,所述制备方法包括以(0001)面Al2O3为衬底,以三甲基镓为镓源,等离子增强化学气相沉积法在(0001)面Al2O3衬底上生长一层β‑Ga2O3膜层,在β‑Ga2O3膜层上方磁控溅射形成Au/Ti叉指电极。本发明的Ga2O3基的电晕检测装置具有响应速度快、分辨率高、作用距离远、不受太阳光的干扰、可准确定位等优点,特别合适用于高压变电系统、高压输电线路等各种恶劣环境下的应用。对架空输电线路和变电设备产生的电晕进行探测具有极大的商业价值。